エレクトロニクス : エッチング廃ガス除害裝置

觸媒式PFC(地球溫暖化ガス)除害裝置
HICDS
エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、觸媒式ならではの高い安全性?経済性を生かし効率よく分解します。
代表製品名英語
PFC CATALYTIC DECOMPOSITION SYSTEM
用途
半導體製造工程ドライエッチング廃ガスの觸媒式PFC除害裝置。除害対象ガスはPFC、SF6、NF3(GHG/地球溫暖化ガス)。
お問い合わせ
情報電子化學品事業部 ファイン裝置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
乾式PFC(地球溫暖化ガス)除害裝置
クリーンエスPF
分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化學反応方式を採用した水処理不要の乾式除害裝置です。
代表製品名英語
PFC CHEMICAL CAPTURE SYSTEM
用途
半導體製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式(薬剤交換式)PFC除害裝置。
お問い合わせ
情報電子化學品事業部 ファイン裝置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
酸性ガス除害裝置
クリーンエスZ
塩素、臭化水素などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
代表製品名英語
DRY-ETCHING GAS TREATMENT SYSTEM
用途
半導體製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式除害裝置。対象:Cl2、HBr、HF等
お問い合わせ
情報電子化學品事業部 ファイン裝置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
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